仪器生产商： UNISOKU Co.，Ltd
资产编号： SN202005014
资产负责人： 王文元
购置日期： 2020-05-01
仪器价格： 374.66 万元
仪器产地： 日本
仪器供应商： UNISOKU Co.
购买经办人： ----
主要配件： ----
主要参数： 设备功能：表面形貌成像、电子结构表征、介电力成像 工作温度：77K - 400 K 工作压力：UHV 扫描范围：7×7 微米 拓扑形貌成像：原子分辨，Z轴分辨率<0.01nm 介电力成像：载流子浓度精度达到1×1017/cm3, 针尖展宽<5nm 配备 Q-plus AFM 扫描头可满足绝缘材料体系表面结构的表征。
仪器介绍：
日本 Unisoku 公司 USM1400-TL 系统，我们在原有系统的基础上扩展了 q-Plus AFM 功能，并根据横截面样品的测试需要独立设计了横截面样品架和横切制样腔。该系统分为快速进样腔、常规制备腔、横切制样腔和分析腔四个部分。四个腔室之 间由闸板阀分隔，样品可以通过传送杆在各腔室之间传递。腔体真空度优于 3×10 -8 Pa，通过温度控制器加热样品台可实现样品温度从 77 K 到 410 K 的变化，该系统集成有 STM 功能和 q-Plus AFM 功能，通过更换 STM 探针和 AFM Sensor 可以实现两种模式 之间的切换，液氮温度下可获得原子分辨像且扫描范围为 7 μm × 7 μm。分析腔针对薄膜光伏器件横截面的原位测试需求进行了改造升级，使其适用于横截面样品的表征，也可以实现器件的工况测量。
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