仪器生产商： 日立
资产编号： SN202405059
资产负责人： 钱波
购置日期： 2022-12-20
仪器价格： 94.60 万元
仪器产地： 日本
仪器供应商： 日立科学仪器有限公司
购买经办人： ----
主要配件： 电子枪，分子泵，机械泵，样品仓室，液氮罐组成
主要参数： 1）加工速度：截面加工500μm/h，6Kv的条件下，Si片； 2）最大样品尺寸：截面20（W） x 12 （D）x 7.0（H） mm； 3）支持样品倾斜：倾斜角度：0-90°；
仪器介绍：
设备由电子枪，分子泵，机械泵，样品仓室，液氮罐组成；分子泵、机械泵和液氮罐联合作用提供切割样品所需要的真空环境；利用高电压对离子（由另外购置的氩气瓶提供的氩气电离后产生）的加速作用形成一个高速的氩离子束，样品通过固定在样品仓室的专用样品台上，控制样品台的不同角度摆动，让离子束去研磨样品，通过氩气离子来一层层地减薄样品，以得到一个非常平整的样品截面，从而去除样品表面的物质，露出新鲜无应力损伤的截面。
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