仪器生产商： 昆山浦元真空技术工程有限公司
资产编号： SN202405024
资产负责人： ----
购置日期： 2023-10-24
仪器价格： 91.00 万元
仪器产地： 中国
仪器供应商： 昆山浦元真空技术工程有限公司
购买经办人： ----
主要配件： 主要由真空腔休，基片转台、磁控溅射系统、真空获得、真空测量、供气系统、 加热系统、冷却系统、控制系统等组成。
主要参数： 1.抽气速度:腔体空载清洁，从大气抽到5*103Pa时间≦20min; 2.极限真空:腔体空载清洁，≤5.0*104Pa; 3.腔体漏率:腔体空载清洁，≤1*10-2Pa.L/s; 4.基片50*50 规格一炉可装4片; 5.基片加热温度≥600℃ 6.设备冷却循环水:3m3/h; 7.设备压缩空气压力:0.6~0.8Mpa; 8.冷却水水压:0.2~0.4Mpa; 9.设备总功率:30KW; 10.设备总重;约1500kg; 11.设备外形尺寸:长2米*宽1.6米*高1.8米;
仪器介绍：
主要用于在玻璃基片表面真空沉积多种金属膜层、氧化物膜层的工艺测试。
该设备功能包括半自动或者全白动磁控溅射、基底加热辅助及多靶共溅射工作。能
够沉积特定元素比例的合金材料，并且实现二维薄膜的多层薄膜连续加工以及高精度制
备。
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