1、二次电子图像分辨率

≤1.0nm保证(加速电压15kV WD = 4mm)
≤2.0nm 保证(加速电压1kV WD = 1.5mm，普通模式)
≤1.4nm 保证(照射电压1kV，WD = 1.5mm，使用减速装置)
放大倍率：20~800,000×
2、样品台
S-4800型
X 0-50 mm
Y 0-50 mm
Z 1.5-30 mm
T -5°~ + 70°
R 360°
最大样品尺寸（直径） 100mm
样品台控制 五轴马达驱动

二次电子探测器

Hitachi S4800操作说明（普通用户V20100525版）

注：本培训手册针对普通用户，不允许在样品观察时改变样品的高度。放样品：

放样品是电镜操作中最容易出现问题的环节，请特别重视

1）粘好样品后，用标准高度规（8mm高度）检测样品高度，使样品的最高处和高度规的下边缘对齐，误差在0到-1mm范围内，即样品高度要低于高度规下边缘。如图1所示。同时确认样品台和调节螺杆固定好，紧固盘片已固定。

图1

2）如图2所示，如果Home键状态条不为绿色，说明样品台不在原位。在软件操作界面上点击Home键，等绿色显示条停止闪烁后，说明腔室内样品座已完全回归原位。

图2

3）在样品交换室上按Air键，放空气进入该交换室，等听到“滴”的声音后，可以打开该交换室。如图3所示

图3

确认样品杆在unlock位置，稍微推样品杆使样品杆前端可见，然后将图1中的样品台装入样品杆前端，lock样品杆后，将样品杆拉回到底。

合上交换室的门后，按样品交换室上的Evac键，抽交换室真空，等听到“滴”的声音后，再按Open键，可以打开交换室和主机腔室之间的阀门，可以清楚的看到阀门打开，听到“滴”的提示声音。

确认阀门打开后，将样品杆轻推入到底，然后旋转样品杆至unlock位置，抽出样品杆到底，这样样品就已经放在主机腔室中了。按close键关闭阀门，听到“滴”的提示声音后，说明已关闭。下面即可开始样品观察了。

[注]: 以上放样品步骤， 2分钟左右即可完成，所以不要着急，要一步步来。

二、样品观察

1）样品放好后，在软件界面上选择合适的高压和发射电流，然后点击”ON”加高压，如图4所示。

在加高压时会弹出样品台大小、高度确认对话框，如图5所示。高度前面已确认是8mm标准高度，如果样品台大小（平面尺寸）和对话框中数值不相符，则要点击cancel，在软件面板中的Stage部分，选择合适的样品台大小，如图6所示

图4

                                     图5

                                  图6

2) 在LM（低放大倍率）下找到要看的样品，使用stage里面的导航图，在上图6中点击Disp，弹出导航图，找到要观察的样品后，点击Reg，即可在导航图中记录相应的位置。

3）然后切换到HM模式。单击操作界面上的Align键，如图7所示，点击其中的Beam Align, 做电子束对中调整，调整好后点击off。

                                图7

4)、在要观察样品区域，增大放大倍率，Focus调焦发现图像移动，需要做Aperture Align，点击图7界面上的Aperture Align，使图像象心脏一般跳动，然后点击off。

5)、如果调焦时，发现图像向一个方向变模糊，需要调Stigmator，如果此时发现图像移动，需要做Stigma Align.X和Stigma Align.X，使图像象心脏一般跳动，然后点击off。4）和5）步的调整总结在下图8中。

6）得到清晰的图像后，选择Slow或CSS（对于轻微荷电样品用）或TV/Fast（对于强荷电样品，不耐高压且慢扫易变形图像）扫描模式，然后点击拍照键，如图9所示，即可拍照片。

图9

7）保存照片。在Setup的Record项里可以改变照片下方信息栏的相关信息。如图9所示。

三、取样品

取样品也是电镜操作中最容易出现问题的环节，请特别重视

1. 需要取样品时，先点击图4中的OFF键关电子束。然后点击图2中的HOME键使样品座归零位。
2. 然后点击图3中的”Open”，等隔离阀打开后（听到”滴“的声音），将处于Unlock位置的样品杆轻推入到底，然后Lock样品杆，将样品台拉出到底。

3）点击图3中的“Close”，等隔离阀关闭后（听到”滴“的声音后），点击”Air”，放空气进入交换室，等听到“滴”的声音后，可以打开该交换室。

4）打开交换室后，稍微推样品杆使样品杆前端可见，旋转样品杆至”unlock”位置，然后将样品台卸下，将样品杆拉回到底。合上交换室的门后，按样品交换室上的Evac键，抽交换室真空。

5）将样品从样品台卸下，并清除导电胶带，保持样品台清洁。

S4800使用注意事项

1. 试样制备：用洗耳球用力吹去未黏紧的细小颗粒或粉尘。用标准高度规（8mm高度）检测样品高度，使样品的最高处和高度规的下边缘对齐，误差在0到-1mm范围内，即样品高度要低于高度规下边缘。如图1所示。同时确认样品台和调节螺杆固定好，紧固盘片已固定。严格按程序文件取样和放样。

图1

1. 如样品台大小（平面尺寸）和对话框中数值不相符，则要点击cancel，在软件面板中的Stage部分，点击Set选择合适的样品台大小，如图3所示。

                           图2                                    图3

1. 电脑死机：按下电脑桌右上角显示单元“DISPLAY”,如图4所示。电脑自动启动，根据界面提示按“Ctrl+Alt+Delete”,密码为空(图5)，按Enter进入系统，密码为空，进入程序。

图4                            图5

1. 进入电镜室请穿鞋套，每次制样和测试结束，保持操作台、电镜室清洁。样品需干燥、无磁性、无挥发性，与样品台牢固粘结。样品制备完后用洗球强力吹去粘结不牢固分泌。同一次装入电镜样品高度差不超过1.5mm，品最高处需低于比高器规定高度。取放样品必须带手套以减少污染。调节杆不要露出样品架底座，以免造成机械故障。插入样品前确认样品台处于换位置(HOME位置)，加速电压处于OFF状态。
2. 禁止修改电脑任何设置，禁止安装任何软件，禁止使用USB接口及U盘。电脑的许多指令会驱动电镜的电气部件或机械部件一系列动作，时间可能较长，千万不要连续点击，以免引起电脑死机。未经专门培训人员不得操作该电镜，操作者未经允许不得修改电镜各参数。
3. Auto Flashing时间为每天早上8:00，执行Flashing结束后点击OK即可。

推拉样品杆时，保持沿样品杆水平方向均匀用力，以免损坏样品杆或损坏密封件。样品台倾转范围是-5°～70°，倾转操作前必须计算当前条件下允许倾转的范围。为安全起见，无电镜管理员授权，禁止倾转样品台或升降样品台。当倾转结束后使样品台回到交换位置时，一定要先将T调至0，再将Z调至8mm。

磁性样品需提前告知。