提高仪器设备的使用率，减少重复购置，节约资金的需求
18915420003
yizhang2009@sinano.ac.cn
用于制备扫描电镜无损截面样品
离子束能量：0.1KeV到6KeV.
抛光速率：硅，每小时＞140um，6KeV
抛光区域：0.5到1.5mm，通过离子束可调节。
配备液氮制冷冷台
