13013819028
yxqiu2008@sinano.ac.cn
高分辨X射线衍射仪是半导体材料表征的标准装备，常用于材料科学和纳米技术、半导体材料和器件等的研究和生产质量控制。
本仪器适用于各种薄膜样品的测试应用，尤其适合外延薄膜和单晶晶圆的结构分析和表征。具体可以测试的内容如下（不限于）：
1. 双轴晶和三轴晶衍射（2theta-omega, rocking curve）
2. 外延关系判定（Phi-scan）
3. 倒易空间图（Reciprocal Space Mapping）
4. 反射率(XRR)
5. 掠入射表面深度分析(GIXRD)
6. 极图：择优取向
7.高温测试：相变及其他性能变化
X射线光源：Cu 靶，2.2kw密封陶瓷X射线管；
电流电压：电压≤40kV，电流≤40mA；
样品台：九自由度高精度样品台；
单色器：Ge（220）四晶单色限束器，角发散度≤12 arcsec；
气冷高温附件（RT~1100℃）。
1.严禁在设备电脑上插入优盘，
2.未经培训严禁自行上机，
3.需管理员培训上机的测试请提前与管理员沟通，联系电话13013819028，18238701530，
4.如预约机时后临时无法测试，请提前在系统中取消预约（取消时间距预约开始时间＞24h，不计费；12h<取消时间距预约开始时间≤24h，按应收费用的10%计费；取消时间距预约开始时间≤12h，按应收费用的20%计费），
5.测试完成后，须在纸质测试记录本上填写姓名、所属单位（课题组）、测试时长等内容。
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