提高仪器设备的使用率，减少重复购置，节约资金的需求
18015595581
fftian2009@sinano.ac.cn
无需做电极，直接测量衬底方块电阻或电阻率。
可测量衬底尺寸：2、3、4、5、6、8寸。可测量衬底厚度≤0.8mm。可实现整个衬底mapping测试（≤300点）。
量程 测试范围
XL 0.032~1.6Ω/□
LO 0.16~16Ω/□
HI 15~3000Ω/□
SS
