加热台高温，请勿用手触碰！！！

严禁关机！！！严禁扳动控制器按钮及总电源开关！！！

脚和凳子不要撞上下方控制器及按钮！！！

仪器最大压力为500 mN，不要超量程！！！

注意在设备台子移动时不要触碰！！！

点击软件中的按钮或打开sample时若无反应，重启软件即可，软件无密码！！！

• 粘样品

1. 打开连接在插座上的加热台的限时开关 (白色插座上的红色按钮按一下)，打开加热台的按钮，升温至160℃，在样品台表面涂抹一层热熔胶（热熔胶和棉棒在左侧的矮柜的第一个抽屉）。
2. 用镊子将样品放置在样品台上，注意不要让热熔胶漫过样品表面。多个样品可粘在四个样品台上，注意一个样品台上需要粘高度相同的样品！
3. 用镊子将片子及圆柱形样品台转移至载玻片上，然后转移放置在空心的铝金属板上进行散热降温（请勿触摸高温的圆柱样品台！！！）。
4. 用尖头签轻压样品，使底部无气泡。注意勿使热熔胶粘到样品表面。
5. 等待降温完成，可触摸铝金属板判断样品是否已冷却。

• 放置样品

1. 操作电脑，选中test标签，使界面出现五个圆的状态。

若没有出现五个圆，而是保持在video状态，可在视频框内点击鼠标右键，点击Nano HandSet可回到五个圆界面。

左键点击框的左上角，将圆锥放置在左上角处。右键，点击Move to Target，可将样品台移出来。

1. 样品台冷却完成后，将样品台放置在仪器里。注意先拧下侧旋钮将底座调高，避免底部螺丝太矮放置样品台时，样品与样品台脱落。后侧两个样品台的旋钮在后侧，后侧两个样品由于空间较小，可用两个手指捏住样品台放置入孔中。注意调节时手不要碰到压头、标样石英（位于平移台中央的样品）以及光镜镜头！！！
2. 通过逆时针旋转底部旋钮抬升样品（顺时针降低，逆时针升高），将样品旋转至略低于石英表面，高度不够可以在样品台底部加一个小垫片。注意在旋转旋钮时左手扶住减震台，以避免减震台大幅度晃动。通过侧面黄色螺丝旋钮轻微旋紧固定样品台（注意不要彻底拧死，只要螺丝吃上一点劲儿，保证样品台不旋转就行。彻底拧死侧面旋钮后续将无法上下调节聚焦）。

• 样品聚焦

1. 操作电脑，先点鼠标左键选中样品，再右键选择move to target，将光镜光斑移动到样品上。注意在设备移动过程中不要触碰！！！
2. 移动完成后，右键选择nano video handset切换至光镜聚焦界面。
3. 将光镜的上下按钮将数值调至大致为0。逆时针转动底部旋钮上升，逐渐聚焦（碰到不确定的黑点可以单击屏幕左键移动位置，确定是否是镜头上的灰尘）。

1. 对焦清晰后，旋紧右侧黄色铜旋钮。
2. 重复上述3-4步骤将四个样品台上的样品都对焦清晰。
3. (若样品略有不清晰，可通过Video界面左下角的四个箭头进行调整，此调节的是光镜上下的高度，一个样品台上的样品正负范围为200 μm。如果超出此范围，则该样品台上的样品需要重新调节，仅能测试最高的样品。)
4. 检查四个样品台侧面旋钮是否都拧紧。旋转减震台底部旋钮，使白色圆柱圆心与high/low中间横线处于同一水平线。

• 压痕参数设置

1. 选择合适方法。设置最大载荷方法：G-Series Basic Hardness, Modulus, Tip Cal, Load Control (BasicLoad)。设置最大深度方法：G-Series Basic Hardness, Modulus at a Depth (BasicDepth)。连续刚度法CSM方法：G-Series CSM Standard Hardness, Modulus, and Tip Cal-190312 (CSM)。

点击菜单栏Method-open method-Advanced。选择XP文件夹下相应的方法。

1. 点击菜单栏Batch Mode创建测试。点击New Batch，project directory选择相应部门或学校，Sub-project Directory点击Add，输入当天日期（如20230919），下方对话框均不勾选，点击绿色下一步图标。

注：若要设置夜晚时间测量，可勾选Delay Before Running Batch-Use Default Start Time，例如8:00 pm，即在晚上8:00程序才开始运行。

1. Sample Name命名规则：年月日-方法-样品名称-最大压入载荷/深度（例如20230919-XPBasicLoad-AlN-cplane-1000nm），点击下一步。
2. Delta X/Y For Finding Surface为默认值，用于设置寻找平面的点距离实际测试点位的距离，一般不作修改。热漂移速率阈值Allowable Drift Rate白天测试选择0.5nm/s，夜晚测试噪声水平较小可以选择0.05nm/s。点击下一步。
3. Surface Approach Distance为压头测完一点移动到下一点时时压头抬起的高度，较平的晶片可以设置2000 nm，粗糙度大的片子可以设置9000 nm。下针速度Surface Approach Velocity为默认值（10nm/s），刚度载荷判据Surface Detect Stiffness Criteria为默认值（Custom stiffness = 125 N/m）。点击下一步。

注：CSM方法的

1. ◼ G-Series Basic Hardness, Modulus, Tip Cal, Load Control 最大载荷方法设置：

◼ G-Series Basic Hardness, Modulus at a Depth最大深度方法设置：

◼ Series CSM Standard Hardness, Modulus, and Tip Cal-190312 CSM连续刚度法设置：

点击下一步开始选点。

注：当不知道材料力学性质的时候不要轻易设置最大压入深度，较大的深度可能会超出仪器500 mN的载荷量程！！！可先选用XPBasicLoad方法，压入500 mN，通过载荷-位移曲线选择合适的压入深度。

1. 使用光镜寻找待压痕区域。在Video界面中点击右键-Nano HandSet，可调出五个圆的状态，移动到与命名编号一致的样品上。再点击右键切换到nano video handset界面。在Video界面右键，选择Show Scale on Video，可调出标尺。
2. 点击Define array of tests beginning at this location，Group下拉菜单选择压痕矩阵（例如3*2-30 um，代表x方向3个点，y方向2个点的矩阵，共6点，间距为30 μm），注意两个压点之间的间距至少是压入深度的20倍，距离边界至少是压入深度的30倍，1000nm的压入深度两点至少间隔20 um。也可以手动输入，Number of indents X direction输入X方向的点数，Y direction输入Y方向的点数。Enter Space between indents下输入两点之间的间距。点击OK即可成功选点。
3. Delete All Locations可以删掉全部点；Delete Selected Location删掉单独一个点（删掉3后4会变3，5会变4依次顺延）。若不适合矩阵选点的样品还可以通过手动add Test at A Location选点。
4. 选择好测试点后点击下一步。对话框弹出“Do you want to add another sample？”选择“Yes”，重复3-9步骤，设置下一个样品参数。

标样参数设置（需要压石英标样来保证压痕数据的准确性）

1. 设置完待测样品后，再添加石英标样的测试。新建的Sample Name命名模板为20230919-XPBasicDepth-silica-2000nm。
2. 热漂移速度与待测样品保持一致，白天为0.5 nm/s。由于石英表面非常平整，抬起高度Surface Approach Distance设置为1000 nm即可。
3. Depth limit和与待测样品保持一致，Peak hold time为30 s，泊松比设置为石英0.18。注：石英最大压入深度2000nm！！！否则会超仪器量程造成仪器损坏！！！
4. 利用Video界面的左下角四个箭头聚焦表面至清晰状态。选择石英的没有压痕点的位置进行压入。
5. 光镜聚焦可以使用左下角四个箭头压头的图标，两侧为粗调。
6. 测试点数为6个。
7. 检查参数设置正常，盖上盖子，点击Run Batch开始测试。

• 数据处理

1. 测试完成时是软件右侧出现表格状态。

1. 点击Review选项，可进入浏览数据界面。

1. 点击file-open sample，下拉菜单从上往下依次选中测试样品，点击OK，可打开该样品的数据。

1. 在Channels选项中点击鼠标右键，通过X-Axis Channel和Y-Axis Channel可更换x轴或y轴的物理量。例如，X-Axis Channel选择x轴坐标为压入深度Displacement into surface，Y-Axis Channel y轴坐标选择载荷Load on sample，可显示载荷-位移曲线。

1. 选择如下图标Excel Output，可导出Excel表格原始数据，包括载荷、压入深度、弹性模量、硬度等。数据路径保存在C盘-sample，相应单位、当天日期的文件夹下。

1. 若使用CSM连续刚度法测试的数据，有可能会出现零点找不准的情况，如下图。Y-Axis Channel选择Harmonic Contact Stiffness，刚度增大的起始点没有位于零点。且下方表格Avg Modulus异于其他值。则说明零点判断不准确，要进行重新定义。

7、先在最左侧的框中选中零点判断不正确的点。左键拖出一个框放大刚度迅速增大处，多放大几次。

8、将虚线对准刚度斜率首次增大处，点击键盘上的“S”按键，即可使刚度恢复零点，完成零点校正。

• 取样及数据拷贝

1. 将圆锥放在左上角，点击鼠标右键-Move to target，将样品台移出。旋松侧面旋钮，再逆时针转动下旋钮，把样品抬升至最高，取出样品。注意调节时手不要碰到压头、标样石英以及光镜镜头！！！

1. 打开加热台，将样品放上加热台，待热熔胶熔化后，用棉棒将样品推至样品台边缘，用镊子取下样品。待样品背面的热熔胶凝固后再放回样品盒，否则会粘在样品盒和样品袋里！！！
2. 数据使用数据上传系统传输。

注：无账号用户可至以下网址注册数据传输系统账号：

http://test.sinano.ac.cn:8001/#/login?redirect=%2Findex

测试样品要求：长和宽＜20mm，厚度＜6mm。表面需抛光呈镜面。上下表面需平行。预约时请附上样品照片，包括样品整体照片以及表面的光镜或电镜照片。