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  • 接触式光刻机

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： MA8 GEN4

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  • 刻蚀机(旧)

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： CPX System

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  • 低压化学气相沉积(旧)

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： DJ-803V

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  • 高温退火炉(旧)

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： DD-803V

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  • 金属有机物化学气相外延设备（旧）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： G4

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  • 飞秒激光精细微加工系统

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： ASF-6683D

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  • 晶圆微电镀机（旧）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： SABRE xT

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  • 超大压力键合机

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： XB8

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  • 刻蚀机（旧）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： MUC-21-019

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  • 等离子体增强化学气相沉积机（旧）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： M/PLEX CVD

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  • 刻蚀机（旧）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： M/PLEX IPC

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  • 等离子化学气相沉积机

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： CC-200Cz

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  • 等离子刻蚀机（旧）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： TE8500PE

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  • 等离子刻蚀机（旧）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： TE-8500PATC

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  • 化学气相沉积（旧）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： 5000 PLATFORM

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