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多喷头无掩模沉积沉积设备
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>热处理加工工艺实验设备
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： jetlab
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感应耦合等离子增强化学气相沉积机
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： SI 500 D
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碳纳米管化学气相沉积机
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>热处理加工工艺实验设备
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 先进材料研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： EasyTube 3000
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金属有机物化学气相沉积机（氮化镓）
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： CCS 6x2 Flip Top
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金属膜厚测试仪（旧）
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： MetaPulse II XCu
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金属有机物化学气相沉积机
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： 6x2 Flip Top CCS
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