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金属有机物化学气相沉积机
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： 31X2
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多喷头无掩模沉积沉积设备
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>热处理加工工艺实验设备
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： jetlab
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感应耦合等离子增强化学气相沉积机
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： SI 500 D
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5. 超高真空磁控溅射（SPUTTER）
仪器分类： 工艺实验设备>电子工艺实验设备>电子产品通用工艺实验设备
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： UHV Sputter System sputter-24
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电感耦合等离子体刻蚀机
仪器分类： 工艺实验设备>电子工艺实验设备>半导体集成电路工艺实验设备
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： HSE200S
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碳纳米管化学气相沉积机
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>热处理加工工艺实验设备
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 先进材料研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： EasyTube 3000
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