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超高真空多腔体镀膜系统

超高真空多腔体镀膜系统

仪器分类:

仪器状态:

所属单位: 所内 > 纳米真空互联实验平台

仪器生产商: PLASSYS-BESTEK SAS

购置日期: 2022-01-17

使用模式: 项目委托,按时预约

规格型号: MEB550SL3

设备管理员: 顾龚杰

邮箱: gjgu20201@sinano.ac.cn

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