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  • 多线切割机

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： YJXQ300A

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  • 超大压力键合机

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： XB8

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  • 等离子体化学气相沉积系统（PECVD）

    仪器分类： 工艺实验设备>其他>其他

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： PECVD200

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  • 静电纺丝机

    仪器分类： 工艺实验设备>纺织工艺实验设备>纺织设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 创新实验室

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： ConSpun-355CH

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  • 金属有机物化学气相沉积机（砷化镓）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： AIX 200/4 3*2

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  • 全自动倒角机

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>机加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 测试分析平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： WGM-8600R

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  • 高精密单面抛光机

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>机加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 测试分析平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： 36GPAW-TD

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  • 高精密单面研磨机

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>机加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 测试分析平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： 36DPAW-TD

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  • 上蜡机

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>机加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 测试分析平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： 36SWM

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  • 研磨机

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>机加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 测试分析平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： 36BAW

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  • 刻蚀机（旧）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： MUC-21-019

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  • 等离子体增强化学气相沉积机（旧）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： M/PLEX CVD

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  • 刻蚀机（旧）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： M/PLEX IPC

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  • 等离子化学气相沉积机

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： CC-200Cz

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  • 等离子刻蚀机（旧）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： TE8500PE

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