等离子体化学气相沉积系统（PECVD）
仪器分类：
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
仪器生产商： 宁波江丰精密机电科技有限公司
购置日期： 2020-07-20
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： PECVD200
设备管理员： 张嫔
邮箱： pzhang2008@sinano.ac.cn
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仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
仪器生产商： 宁波江丰精密机电科技有限公司
购置日期： 2020-07-20
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： PECVD200
设备管理员： 张嫔
邮箱： pzhang2008@sinano.ac.cn
仪器生产商： 宁波江丰精密机电科技有限公司
资产编号： SN202010041
资产负责人： ----
购置日期： 2020-07-20
仪器价格： 88.05 万元
仪器产地： 中国
仪器供应商： ----
购买经办人： ----
主要配件： ----
主要参数： ----
仪器介绍：