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步进投影光刻机(旧)
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： NSR-2005il0D
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金属有机物化学气相沉积机（氮化镓）
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： 3x3” wafer
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1. 氧化物分子束外延（（O）MBE）
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Octoplus-O 400
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5. 金属分子束外延（（M）MBE）
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： metal-MBE
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电流体动力学喷印设备
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： HEIJ-H
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