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金属有机物化学气相沉积机(氮化镓)

金属有机物化学气相沉积机(氮化镓)

仪器分类:

仪器状态:

所属单位: 所内 > 纳米加工平台

仪器生产商: 爱思强公司AIXTRON Ltd

购置日期: 2016-07-14

使用模式: 项目委托,按时预约

规格型号: 3x3” wafer

设备管理员: 张嫔

邮箱: pzhang2008@sinano.ac.cn

版权所有 © 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 备案序号:苏ICP备10220403号-2

地址:江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号 邮编:215123

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