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金属有机物化学气相沉积机
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： 31X2
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感应耦合等离子增强化学气相沉积机
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： SI 500 D
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金属有机物化学气相沉积机（氮化镓）
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： CCS 6x2 Flip Top
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金属有机物化学气相沉积机
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： 6x2 Flip Top CCS
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金属有机物化学气相沉积机（砷化镓）
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： AIX 200/4 3*2
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1. 氧化物分子束外延（（O）MBE）
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Octoplus-O 400
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5. 金属分子束外延（（M）MBE）
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： metal-MBE
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电流体动力学喷印设备
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： HEIJ-H
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