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ICP等离子体刻蚀机（III-V）
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： System 133ICP 380
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400兆核磁共振波谱仪
仪器分类： 分析仪器>波谱仪器>核磁共振波谱仪
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米生物医学研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： 400-MR
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电子器件光电缺陷无损成像分析系统
仪器分类： 物理性能测试仪器>光电测量仪器>其他
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 创新实验室
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： FX2-MPL301-SIN
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