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2. 四探针扫描隧道显微镜（（4P）ST...
仪器分类： ----
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： ScientaOmicron LT NANOPROBE
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5. 超高真空等离子体清洗机（Plasm...
仪器分类： ----
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Uni-Bulb RF plasma
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3. X射线光电子能谱仪-1（XPS）
仪器分类： 分析仪器>X射线仪器>X射线能谱仪
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： PHI 5000 VersaprobeⅡ
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4. 扫描电子显微镜（SEM（CL））
仪器分类： 分析仪器>电子光学仪器>扫描电镜
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Nova NanoSEM450
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5. 超高真空磁控溅射（SPUTTER）
仪器分类： 工艺实验设备>电子工艺实验设备>电子产品通用工艺实验设备
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： UHV Sputter System sputter-24
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手套箱兼容的原子力显微镜
仪器分类： 分析仪器>显微镜及图像分析仪器>扫描探针显微镜
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： MFP-3D Origin+
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