ICP等离子体刻蚀机（III-V）

仪器分类：工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： System 133ICP 380

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氮化镓半导体外延炉（旧）

仪器分类：工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： D180

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电感耦合等离子刻蚀机

仪器分类：工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： Apex SLR

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倒置显微镜

仪器分类：分析仪器>显微镜及图像分析仪器>光学显微镜

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： Ti-E

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激光解理机

仪器分类：工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： AccuScribe Titan

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倒装焊机

仪器分类：工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： FC150

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临时键合解键合机

仪器分类：工艺实验设备>电子工艺实验设备>半导体集成电路工艺实验设备

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： WBR1A0802& WDB1A0802

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电感耦合等离子体刻蚀机

仪器分类：工艺实验设备>电子工艺实验设备>半导体集成电路工艺实验设备

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： HSE200S

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单片清洗机

仪器分类：分析仪器>样品前处理及制备仪器>其他

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： WCN1S0804

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线宽测试仪(旧)

仪器分类：其他仪器>其他仪器>其他仪器

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： S-8820

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等离子去胶机

仪器分类：其他仪器>其他仪器>其他仪器

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： Sino-Plasma100

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套刻测量机(旧)

仪器分类：其他仪器>其他仪器>其他仪器

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： KLA 5200

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超声雾化喷涂仪

仪器分类：其他仪器>其他仪器>其他仪器

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： uc360c

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红外热点分析系统

仪器分类：其他仪器>其他仪器>其他仪器

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： InfraScope II

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原位碱金属填充键合机

仪器分类：其他仪器>其他仪器>其他仪器

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： KM6

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