电感耦合等离子刻蚀机
仪器分类：
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
仪器生产商： Plasma Therm
购置日期： 2017-11-14
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Apex SLR
设备管理员： 张嫔
邮箱： pzhang2008@sinano.ac.cn
仪器分类：
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
仪器生产商： Plasma Therm
购置日期： 2017-11-14
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Apex SLR
设备管理员： 张嫔
邮箱： pzhang2008@sinano.ac.cn
仪器生产商： Plasma Therm
资产编号： SN201712252\SN201712253
资产负责人： ----
购置日期： 2017-11-14
仪器价格： 210.05 万元
仪器产地： 瑞典
仪器供应商： ----
购买经办人： ----
主要配件： ----
主要参数： ----
仪器介绍：