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金属膜厚测试仪（旧）
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： MetaPulse II XCu
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金属有机物化学气相沉积机
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： 6x2 Flip Top CCS
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激光器线宽和频率噪声测量系统
仪器分类： 其他仪器>其他仪器>其他仪器
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： OE4000-1000 -1625-PN10- RIN-110M-220V
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