超高真空原子层沉积系统
仪器分类：
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
仪器生产商： SVT
购置日期： 2020-12-10
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： UHV-PEALD-100
设备管理员： 顾龚杰
邮箱： gjgu20201@sinano.ac.cn
仪器分类：
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
仪器生产商： SVT
购置日期： 2020-12-10
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： UHV-PEALD-100
设备管理员： 顾龚杰
邮箱： gjgu20201@sinano.ac.cn
仪器生产商： SVT
资产编号： SN202110020
资产负责人： ----
购置日期： 2020-12-10
仪器价格： 186.79 万元
仪器产地： 美国
仪器供应商： ----
购买经办人： ----
主要配件： ----
主要参数： ----
仪器介绍：