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步进投影光刻机(旧)
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： NSR-2005il0D
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金属有机物化学气相沉积机（氮化镓）
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： 3x3” wafer
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多站式比表面积及孔隙度分析仪
仪器分类： 物理性能测试仪器>颗粒度测量仪器>孔隙度／比表面测量仪
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 创新实验室
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： ASAP2460
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激光共聚焦拉曼光谱仪
仪器分类： 分析仪器>光谱仪器>拉曼光谱仪
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 创新实验室
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： inVia Qontor
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扫描电子显微镜 Quanta 400
仪器分类： 分析仪器>电子光学仪器>扫描电镜
仪器状态：
所属单位： 所内 > 测试分析平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Quanta400FEG
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