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电子器件光电缺陷无损成像分析系统
仪器分类： 物理性能测试仪器>光电测量仪器>其他
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 创新实验室
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： FX2-MPL301-SIN
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LMBE450型超高真空激光分子束外延系...
仪器分类： 工艺实验设备>其他>其他
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： COMPexPro 201
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3. X射线光电子能谱仪-1（XPS）
仪器分类： 分析仪器>X射线仪器>X射线能谱仪
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： PHI 5000 VersaprobeⅡ
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4. 扫描电子显微镜（SEM（CL））
仪器分类： 分析仪器>电子光学仪器>扫描电镜
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Nova NanoSEM450
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金属有机物化学气相沉积机
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： 31X2
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500兆核磁共振波谱仪
仪器分类： 分析仪器>波谱仪器>核磁共振波谱仪
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米生物医学研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： AVANCE ш 500MHz
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多喷头无掩模沉积沉积设备
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>热处理加工工艺实验设备
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： jetlab
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