6英寸双面对准光刻机
仪器分类：
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
仪器生产商： 德国卡尔修斯
购置日期： 2008-10-31
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： MA6/BA6
设备管理员： 张嫔
邮箱： pzhang2008@sinano.ac.cn
仪器分类：
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
仪器生产商： 德国卡尔修斯
购置日期： 2008-10-31
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： MA6/BA6
设备管理员： 张嫔
邮箱： pzhang2008@sinano.ac.cn
仪器生产商： 德国卡尔修斯
资产编号： SN200810036
资产负责人： ----
购置日期： 2008-10-31
仪器价格： 238.24 万元
仪器产地： 德国
仪器供应商： ----
购买经办人： ----
主要配件： ----
主要参数： ----
仪器介绍：