等离子刻蚀机（旧）
仪器分类：
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
仪器生产商： 泛林
购置日期： 2019-05-31
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Lam9600B
设备管理员： 张嫔
邮箱： pzhang2008@sinano.ac.cn
仪器分类：
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
仪器生产商： 泛林
购置日期： 2019-05-31
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Lam9600B
设备管理员： 张嫔
邮箱： pzhang2008@sinano.ac.cn
仪器生产商： 泛林
资产编号： SN201908097
资产负责人： ----
购置日期： 2019-05-31
仪器价格： 112.28 万元
仪器产地： 日本
仪器供应商： ----
购买经办人： ----
主要配件： ----
主要参数： ----
仪器介绍：