纳米加工平台
| 姓 名： | 张宝顺 |
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| 职 称： | 研究员 |
| 学 历： | 博士研究生 |
| 电 话： | |
| 通讯地址： | 苏州工业园区若水路398号 |
| 电子邮件： | bszhang2006@sinano.ac.cn |
简历：
1991年毕业于长春理工大学（原长春光学精密机械学院）光学物理系；1994年获长春理工大学硕士学位；同年留校任职于高功率半导体激光国家重点实验室，主要从事半导体激光器工艺技术研究及半导体激光材料MBE 生长研究，1999年被评为长春理工大学副研究员。2003年6月获中国科学院半导体研究所材料物理与化学专业博士学位。2004年至2006年，在香港科技大学光电科技中心从事Si 衬底、蓝宝石衬底上LED 材料生长和器件工艺研究以及Si 衬底HEMT 材料生长研究。2006年起为中国科学院纳米技术与纳米仿生研究所研究员，主要研究方向为半导体材料生长和器件工艺研究。在宽禁带半导体材料生长、功率器件制备、封装集成等领域发表文章50余篇，授权发明专利80项，承担了国家"973"课题、基金委重大计划课题、江苏省产学研联合创新、中科院科研装备研制、探索等多个项目。
研究领域：
1. 半导体材料生长；
2. 电力电子器件；
3. 微纳加工。