纳米加工平台
| 姓 名： | 鞠涛 |
|---|---|
| 职 称： | 高级工程师 |
| 学 历： | 博士研究生 |
| 电 话： | |
| 通讯地址： | 苏州工业园区若水路398号 |
| 电子邮件： | tju2013@sinano.ac.cn |
简历：
2006年与2013年在中国科学技术大学精密机械与精密仪器系分别获得学士与博士学位。现任中科院苏州纳米所纳米加工平台副主任，高级工程师。2013年以来致力于第三代半导体SiC材料生长设备和生长工艺研发工作，同时长期从事微纳加工技术开发、服务等工作。授权中国发明专利10项，发表文章十余篇。
研究领域：
1. SiC材料生长设备和生长工艺
2. 微纳加工工艺与相关器件