纳米加工平台
| 姓 名： | 王逸群 |
|---|---|
| 职 称： | 正高级工程师 |
| 学 历： | 博士 |
| 电 话： | |
| 通讯地址： | 苏州工业园区若水路398号 |
| 电子邮件： | yqwang2008@sinano.ac.cn |
简历：
中科院苏州纳米所加工平台副主任、正高级工程师、江苏省333工程第三层次人才，08年加入苏州纳米所加工平台专注微纳米加工技术及平台建设工作，在微系统集成工艺方面有多项代表性成果。承担国家重点研发计划、自然基金等多项国家级项目，已累计获得数千万经费支持。
研究领域：
1.微系统集成工艺研究
2.芯片级原子钟、磁强计研究
3.微纳米光学