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  • 溅射台

    仪器分类： 工艺实验设备>其他>其他

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： Sigma fxP

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  • 电子束蒸发台

    仪器分类： 工艺实验设备>其他>其他

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： FCE-2700

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  • 等离子体化学气相沉积系统（PECVD）

    仪器分类： 工艺实验设备>其他>其他

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： PECVD200

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