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  • 电感耦合等离子体刻蚀机

    仪器分类： 工艺实验设备>电子工艺实验设备>半导体集成电路工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： HSE200S

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  • 光刻机（旧）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： MA6

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  • 金属膜厚测试仪（旧）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： MetaPulse II XCu

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  • 接触式光刻机

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： MA8 GEN4

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  • 刻蚀机(旧)

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： CPX System

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  • 低压化学气相沉积(旧)

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： DJ-803V

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  • 高温退火炉(旧)

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： DD-803V

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  • 金属有机物化学气相外延设备（旧）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： G4

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  • 飞秒激光精细微加工系统

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： ASF-6683D

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  • 晶圆微电镀机（旧）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： SABRE xT

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  • 溅射台

    仪器分类： 工艺实验设备>其他>其他

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： Sigma fxP

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  • 等离子体深刻蚀机

    仪器分类： 工艺实验设备>电子工艺实验设备>半导体集成电路工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： Omega LPX Rapier

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  • 电子束蒸发台

    仪器分类： 工艺实验设备>其他>其他

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： FCE-2700

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  • 超大压力键合机

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： XB8

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  • 等离子体化学气相沉积系统（PECVD）

    仪器分类： 工艺实验设备>其他>其他

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： PECVD200

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