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  • 原子层沉积设备

    仪器分类： 工艺实验设备>电子工艺实验设备>电子产品通用工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： Picosun R200

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  • 5. 超高真空磁控溅射（SPUTTER）

    仪器分类： 工艺实验设备>电子工艺实验设备>电子产品通用工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： UHV Sputter System sputter-24

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  • 多通道相参本振

    仪器分类： 工艺实验设备>电子工艺实验设备>其他

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： M9347AH01

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  • 超高真空多腔体镀膜系统

    仪器分类： 工艺实验设备>电子工艺实验设备>其他

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： MEB550SL3

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  • 1. 氧化物分子束外延（（O）MBE）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： Octoplus-O 400

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  • 5. 金属分子束外延（（M）MBE）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： metal-MBE

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