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  • 阻抗测试仪（旧）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： KLA TENCOR/RS-55TCA

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  • 涂胶显影机(旧)

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： CLEAN TRACK

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  • 单晶金刚石微波等离子CVD设备

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： DH6AM-PCVD

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  • 膜厚测试仪（旧）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： NanoSpec 9300

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  • 高温氧化炉（旧）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： DD-803V

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  • 步进投影光刻机(旧)

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： NSR-2005il0D

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  • 离子束刻蚀机

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： scia Mill 200

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  • 金属有机物化学气相沉积机（氮化镓）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： 3x3” wafer

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  • 激光切片机

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： ML 200Plus

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  • LPCVD

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： DFS250

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  • 光学镀膜机（介质）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： OTFC-900CBI

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  • 高真空溅射台（旧）

    仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： Ceraus ZX-1000

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