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  • 原子层沉积设备

    仪器分类： 工艺实验设备>电子工艺实验设备>电子产品通用工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： Picosun R200

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  • 5. 超高真空磁控溅射（SPUTTER）

    仪器分类： 工艺实验设备>电子工艺实验设备>电子产品通用工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： UHV Sputter System sputter-24

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  • 多通道相参本振

    仪器分类： 工艺实验设备>电子工艺实验设备>其他

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： M9347AH01

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  • 超高真空多腔体镀膜系统

    仪器分类： 工艺实验设备>电子工艺实验设备>其他

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： MEB550SL3

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  • 临时键合解键合机

    仪器分类： 工艺实验设备>电子工艺实验设备>半导体集成电路工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： WBR1A0802& WDB1A0802

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  • 电感耦合等离子体刻蚀机

    仪器分类： 工艺实验设备>电子工艺实验设备>半导体集成电路工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： HSE200S

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  • 等离子体深刻蚀机

    仪器分类： 工艺实验设备>电子工艺实验设备>半导体集成电路工艺实验设备

    仪器状态：

    所属单位： 所内 > 纳米加工平台

    使用模式： 项目委托,按时预约

    规格型号： Omega LPX Rapier

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