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  • LMBE450型超高真空激光分子束外延系...

    仪器分类: 工艺实验设备>其他>其他

    仪器状态:

    所属单位: 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部

    使用模式: 项目委托,按时预约

    规格型号: COMPexPro 201

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  • 柔性器件 蒸镀系统

    仪器分类: 工艺实验设备>其他>其他

    仪器状态:

    所属单位: 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部

    使用模式: 项目委托,按时预约

    规格型号: VG3000/750TS-D

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  • 超低温设备

    仪器分类: 工艺实验设备>其他>其他

    仪器状态:

    所属单位: 所内 > 测试分析平台

    使用模式: 项目委托,按时预约

    规格型号: PT-6-ST

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  • 溅射台

    仪器分类: 工艺实验设备>其他>其他

    仪器状态:

    所属单位: 所内 > 纳米加工平台

    使用模式: 项目委托,按时预约

    规格型号: Sigma fxP

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  • 电子束蒸发台

    仪器分类: 工艺实验设备>其他>其他

    仪器状态:

    所属单位: 所内 > 纳米加工平台

    使用模式: 项目委托,按时预约

    规格型号: FCE-2700

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  • 等离子体化学气相沉积系统(PECVD)

    仪器分类: 工艺实验设备>其他>其他

    仪器状态:

    所属单位: 所内 > 纳米加工平台

    使用模式: 项目委托,按时预约

    规格型号: PECVD200

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