仪器分类: 工艺实验设备>其他>其他
仪器状态: 启用
所属单位: 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部
使用模式: 项目委托,按时预约
规格型号: COMPexPro 201
预约
规格型号: VG3000/750TS-D
所属单位: 所内 > 测试分析平台
规格型号: PT-6-ST
所属单位: 所内 > 纳米加工平台
规格型号: Sigma fxP
规格型号: FCE-2700
规格型号: PECVD200