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金属有机物化学气相沉积机（氮化镓）
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： CCS 6x2 Flip Top
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容天超算服务器（GPU）
仪器分类： 计算机及其配套设备>服务器>服务器
仪器状态：
所属单位： 所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： AIX4850
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4. 红外近场光学显微镜（SNOM）
仪器分类： 分析仪器>显微镜及图像分析仪器>光学显微镜
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米真空互联实验平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Anasys nanoIR2-s
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金属膜厚测试仪（旧）
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： MetaPulse II XCu
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