刻蚀机(旧)

仪器分类：工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： CPX System

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低压化学气相沉积(旧)

仪器分类：工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： DJ-803V

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高温退火炉(旧)

仪器分类：工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： DD-803V

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金属有机物化学气相沉积机

仪器分类：工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他

仪器状态：

所属单位：所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： 6x2 Flip Top CCS

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金属有机物化学气相外延设备（旧）

仪器分类：工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： G4

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飞秒激光精细微加工系统

仪器分类：工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： ASF-6683D

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激光器线宽和频率噪声测量系统

仪器分类：其他仪器>其他仪器>其他仪器

仪器状态：

所属单位：所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： OE4000-1000 -1625-PN10- RIN-110M-220V

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晶圆微电镀机（旧）

仪器分类：工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： SABRE xT

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静电纺丝纱线材料设备

仪器分类：其他仪器>其他仪器>其他仪器

仪器状态：

所属单位：所内 > 研究部公共技术平台 > 先进材料研究部

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： YT-SS-1

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碳纤维电镀镍装置设备

仪器分类：其他仪器>其他仪器>其他仪器

仪器状态：

所属单位：所内 > 研究部公共技术平台 > 先进材料研究部

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号：定制

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金属有机物化学气相沉积

仪器分类：其他仪器>其他仪器>其他仪器

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米真空互联实验平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： CCS6*2 Flip Top

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溅射台

仪器分类：工艺实验设备>其他>其他

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： Sigma fxP

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等离子体深刻蚀机

仪器分类：工艺实验设备>电子工艺实验设备>半导体集成电路工艺实验设备

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： Omega LPX Rapier

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电子束蒸发台

仪器分类：工艺实验设备>其他>其他

仪器状态：

所属单位：所内 > 纳米加工平台

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： FCE-2700

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多线切割机

仪器分类：工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他

仪器状态：

所属单位：所内 > 研究部公共技术平台 > 纳米器件研究部

使用模式：项目委托,按时预约

规格型号： YJXQ300A

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