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ICP等离子体刻蚀机（旧）
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Sigma i2L
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扫描电子显微镜 Quanta 250
仪器分类： 分析仪器>电子光学仪器>扫描电镜
仪器状态：
所属单位： 所内 > 测试分析平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： Quanta 250FEG
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6英寸分步重复光刻机
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： NSR 1755i7B
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分步投影光刻机（旧）
仪器分类： 工艺实验设备>加工工艺实验设备>电加工工艺实验设备
仪器状态：
所属单位： 所内 > 纳米加工平台
使用模式： 项目委托,按时预约
规格型号： NSR-2205i12D
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